典型 VOCs 污染源受控工藝設施和污染物項目
2022-08-05 08:48:12
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典型 VOCs污染源受控工藝設施和污染物項目
污染源 |
受控工藝設施 |
污染物項目 | |
汽車制造涂裝 汽車維修保養 | 噴漆（膠）室 | 漆霧、苯、甲苯、二甲苯、非甲烷總烴 | |
烘干室 | 苯、甲苯、二甲苯、非甲烷總烴 | ||
金屬鑄造 | 造型制芯、澆鑄冷卻 | 非甲烷總烴 | |
半導體制造 |
酸性氣體排氣筒 | SiO2粉塵、硫酸霧、磷酸霧、硝酸霧、氟化物、氯化氫 | |
堿性氣體排氣筒 | 氨氣 | ||
有毒氣體排氣筒 | 磷化氫、砷化氫、氯氣 | ||
有機氣體排氣筒 | 非甲烷總烴 | ||
電子產品制造 | 電子元器件制造 |
零部件清洗、蝕刻工藝 |
氟化物、氯化氫、甲苯、非甲烷總烴 |
印刷電路板制造 | 裁板、鉆孔工藝 | 顆粒物 | |
沉銅、電鍍、蝕刻和表面處理工藝 | 硫酸霧、氨氣、氯化氫 | ||
線路絲印、阻焊印刷和文字印刷等工藝 | 甲苯、非甲烷總烴 | ||
噴錫工藝 | 錫及其化合物 | ||
CRT 顯示器制造 | 屏錐、框架清洗等工藝 | 硝酸霧、氟化物、氯化氫 | |
涂有機膜 | 甲苯、非甲烷總烴 | ||
LCD 顯示器制造 | 基板清洗、光刻、剝離去膠、配向膜工藝 |
非甲烷總烴 | |
化學氣相沉積（CVD）工藝 | 氯氣、氨氣、磷化氫 | ||
刻蝕工藝 | 氟化物、氯化氫 | ||
電子終端產品裝配 | 機箱（機殼）噴塑工藝 | 樹脂塵 | |
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